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マコーでは処理表面を観察する手段として、マイクロスコープやレーザー顕微鏡、サーフトレーサーなどの機器を利用しておりましたが、倍率の違いやフィルターの使用により、対象物の真の表面を観察できているとはいえませんでした。

そこで、マコーでは 従来の三次元鳥瞰図では見えなかった微妙な表面性状の違いを確認できるSEM(電子顕微鏡)を導入いたしました。 これにより、その場で処理品質確認が可能になり、お客様のご希望の表面創生により迅速に対応できます。

弊社は、よりミクロ領域での表面観察がおこなえるサンプルテストを実施し、お客様の望むレベルの品質を提供していきたいと考えております。


■装置全景

■撮影風景

■ブラスト処理後PI表面(×2000)

■ブラスト処理後ガラス表面(×2000)

■ブラスト処理後Cu表面(×2000)

■ブラスト処理後回路表面_1(×70)

■ブラスト処理後回路表面_2(×70)

■ブラスト処理後回路表面3D表示

SEMの概要

装置名3Dリアルサーフェイスビュー顕微鏡(VE-9800)
メーカー名キーエンス社製
倍率15~100,000倍
最大試料寸法64mm径
最大厚さ30mm
観察機能3Dによる回転観察、形状測定
計測機能2点間・半径・角度・平行線・垂線・面積などの自動計測
分解能8nm