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マコーではウェットブラスト後の処理表面を観察する手段として、マイクロスコープやサーフトレーサー、電子顕微鏡(SEM)などの機器を利用しておりましたが、より精度の高い表面計測をおこなうために、このたびカラー3Dレーザ顕微鏡を導入いたしました。

今回導入したカラー3Dレーザ顕微鏡は、処理面に対して引いた線の断面に対しての「高さ」、「幅」、「断面積」、「形状角度」、「R」などが計測できます。

また、処理面に対して引いた線の「線粗さ」や「面粗さ」も計測可能です。
これにより、その場で処理品質確認が可能になり、お客様のご希望の表面創生により迅速に対応できます。

弊社は、今後もよりミクロ領域での表面観察がおこなえるサンプルテストを実施し、お客様の望むレベルの品質を提供していきたいと考えております。

使用風景1
■使用風景1
使用風景2
■使用風景2
アルミ表面(ジルコニアビーズでの処理後)
■アルミ表面(ジルコニアビーズでの処理後)
基板回路パターン
■基板回路パターン
3D鳥瞰図(アルミ表面)
■3D鳥瞰図(アルミ表面)
3D鳥瞰図(基板回路パターン)
■3D鳥瞰図(基板回路パターン)
面粗さ計測(アルミ表面)
■面粗さ計測(アルミ表面)
面粗さ計測(基板回路パターン)
■面粗さ計測(基板回路パターン)

■カラー3Dレーザ顕微鏡の概要
装置名カラー3Dレーザ顕微鏡(VK-9700)
メーカー名株式会社キーエンス製
倍率18000倍
15型モニタ上倍率20040010003000
対物レンズ倍率10×20×50×150×
観察測定範囲 横(H):μm135067527090
観察測定範囲 縦(V):μm101250620267
作動距離:mm16.53.10.350.2
観察・測定用光学系ピンホールによる共焦点光学系
高さ測定測定範囲:7mm 表示分解能:0.001μm
幅測定表示分解能:0.001μm