変質層・加工目除去
ガラス表層の加工目・変質層・脆弱層を除去。
滑らかな面に仕上げる。
カテゴリ：ガラス
- ガラス表面に新たなマイクロクラックを生み出さない、超微細加工
- 粉塵・熱・静電気の発生なし
- 幅広ガンによる均一・緻密で且つ高速加工が可能
処理対象例
半導体製造装置用部品
※装置カタログや技術資料は、以下の「カタログ・資料D/L」よりご覧いただけます。
カテゴリ：ガラス
処理対象例
半導体製造装置用部品
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